​検査装置

LD芯片外觀檢查裝置

AOI1000A

概  要

該設備是通過將端面發射激光(EEL)的激光二極管裸芯片裝到Grip環或凝膠盒,從頂部和對角線上捕獲芯片表面圖像來執行圖像檢查的設備。

目視檢查三個表面:上表面,發光端面的前部和發光端面的後部。

NG判斷產品被拾取並丟棄在NG BOX中。

測定対象

端面發射激光(EEL)激光二極管Bare Chip

Wafer Mapping機能

在測量之前,高速執行Wafer Mapping。

供給方式

・6“供給環x1​

・2“凝膠盒x4

検査対象面

・上面

・発光端面前面

・発光端面後面

検査項目

・裂縫,划痕,划痕

・污垢,腐蝕,塗層不良

*詳細信息將在為每個項目準備樣品規格後確定。

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