​検査装置

VCSELプロービング

ウェハテスタ

VWP5040A

概  要

本装置はVCSELレーザーダイオードのWAFER状態で常温(20℃)~高温(95℃)環境下での電気特性、光学特性を自動に測定するLDテストウエハープローバです。測定前にマッピングを行い、そのマップに従って1個ずつ順にI-L、λ計測を行います。I-L、λ計測終了後、FFP測定、NFP測定を順次行います。マルチビームVCSELに対応したオートプローバです。

 測定対象

Multi-beam VCSEL wafer

Wafer Mapping機能

測定前に高速でwafer mappingを行います。

温度制御方式・範囲

・ペルチェにより制御​

・20℃~95℃

設定項目

・I-L/I-V測定(CW)

・Ir/Vr測定

・波長測定:標準対応機器

 短波: OCEAN OPTICS HR2000+

・FFP測定 Far Field Pattern :12M pixel camera 画像処理方式

・NFP測定 Far Field Pattern :12M pixel camera 画像処理方式

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